Die kabelkapazitäten kann man relativ gut beherschen, wenn die zu messende kapazität nicht gegen Masse, sondern zwischen 2 seperaten Leitungen vorliegt.
Auf die eine Leitung gibt man eine Wechselspannung, z.B. Rechteck 1 kHz, 10 V Amplitude. An der anderen Leitung hat man einen Transimpedanzverstärker und mißt damit den Strom. Bei hoher Leitungskapazität braucht der "transimpedanzverstärker" als Rückkopplung einen Kondensator in der Rückkopplung und wird damit dann mehr zu einem invertierenden Verstärker, bei dem die VErstärkung durch das Verhältnis von zu messender Kapazität zu Kapazität in der Rückkopplung wird. Wenn man nicht ganz kleine kapazitäten ( < 1fF) hat, sollte es reichen das ausgangssignal des Transimpedazverstärkers direkt mit dem AD wandler zu digitalisieren.